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Workstation系列主動(dòng)隔振光學(xué)平臺

產(chǎn)品概述

歐庫睿因主動(dòng)式隔振技術(shù)，高精度設(shè)備的*美展現(xiàn)！

自從高分辨率測量和制造技術(shù)達(dá)到納米尺度以來，振動(dòng)就一直是一個(gè)重要問題。有效消除振動(dòng)干擾是獲得精確和可重復(fù)測量結(jié)果的關(guān)鍵。解決方法是將儀器與振動(dòng)源隔離開來。典型的振動(dòng)來源可能是：

· 建筑物和地面的振動(dòng)(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz)

· 聲學(xué)振動(dòng)(>20 Hz)

· 機(jī)動(dòng)設(shè)備和機(jī)器(10-500 Hz)

主動(dòng)隔振的基本原理是通過產(chǎn)生反作用力對干擾振動(dòng)進(jìn)行主動(dòng)補(bǔ)償。

精選范例

歐庫睿因主動(dòng)隔振系統(tǒng)的工作原理

應(yīng)用設(shè)備和承載臺面由彈簧支撐。其目的是實(shí)現(xiàn)主動(dòng)隔振所需的浮動(dòng)狀態(tài)。承載臺面可以向各個(gè)方向移動(dòng)。在工作狀態(tài)中，桌面上的應(yīng)用設(shè)備與環(huán)境振動(dòng)隔離。

振動(dòng)由極其靈敏的壓電式加速度計(jì)檢測。傳感器輸出信號由控制電路進(jìn)行分析和處理，控制電路驅(qū)動(dòng)電動(dòng)執(zhí)行器，電動(dòng)執(zhí)行器實(shí)時(shí)產(chǎn)生對抗振動(dòng)的反作用力。主動(dòng)隔振在6個(gè)自由度內(nèi)有效。

主要特征

■ 相比于氣浮式隔振臺，主動(dòng)隔振臺沒有低頻共振，即使在低頻范圍內(nèi)也有出色的隔振性能。

■ 超快的穩(wěn)定時(shí)間：低至0.3秒(普通被動(dòng)隔振臺的 穩(wěn)定時(shí)間為30秒至60秒)。

■ 主動(dòng)隔振臺帶寬0.6/1Hz 至200Hz (遠(yuǎn)超被動(dòng)隔振臺)。

■ 6個(gè)自由度主動(dòng)隔振。

■ 真正的主動(dòng)隔振：及時(shí)產(chǎn)生反作用力來抵消振動(dòng)。

■ 操作簡單-按鈕式解決方案。

■ 設(shè)計(jì)緊湊，安裝簡便。

■ 高度的位置穩(wěn)定性-1Hz時(shí)固有剛度通常是被動(dòng)隔振臺的20到30倍。

■ 接電即可，無需壓縮空氣。

■ 適用于將高分辨率測量設(shè)備與建筑振動(dòng)隔離。

■ 廣泛的適用范圍：擁有標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品和用戶定制產(chǎn)品。

VarioBasic 40搭配成像橢偏儀

i4 Large搭配3D輪廓儀

Workstation系列主動(dòng)隔振光學(xué)平臺

將I4隔振平臺與桌面集成在一起的主動(dòng)隔振平臺桌。