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 DVIA主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)

DVIA-MB，專(zhuān)門(mén)為SEM和TEM顯微鏡設(shè)計(jì)主動(dòng)隔振平臺(tái)

 DVIA主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)特點(diǎn)：

 具有非常的隔振性能，特別是在低頻0.5Hz- 10Hz達(dá)到90%以上的隔振效率

 采用慣性傳感器，可以檢測(cè)出六個(gè)自由度的振動(dòng)并做補(bǔ)償

 采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺(tái)面，厚度可選100/200/300mm

 進(jìn)口精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)

 隔振性能優(yōu)異,廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡，激光干涉儀 ,半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等。

 技術(shù)指標(biāo):

 固有頻率：0.5-100Hz

 自動(dòng)平衡，響應(yīng)時(shí)間短，平衡速度快

 鋼蜂巢內(nèi)核：鋼制蜂窩芯，鋼板厚度0.25mm,每個(gè)蜂巢面積3.2cm²

 表面平整度：±0.1mm /600 mm²

 臺(tái)面：4.0mm厚度430 系列高導(dǎo)磁鎳合不銹鋼

 底面：4.0mm厚碳鋼，表面氧化處理

 邊墻板：2.0mm厚碳鋼，包裹高阻尼聚乙烯材料

 孔徑： M6 (英制螺孔可選)

 孔距：25mmX25mm(英制孔距可選)，zui外邊孔距平臺(tái)邊緣37.5mm

 螺孔密封：每個(gè)螺紋孔下方設(shè)有柱形隔離杯密封，方便清潔

 阻尼隔振方式：寬帶阻尼